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制作多孔SIO2濕度接近開關傳感器時，先是在硅單晶襯底上形成一個多孔硅層，多孔硅層經(jīng)氧化后即成為一個具有感濕功能、性能比較穩(wěn)定的多孔SIO2層，在多孔SIO2層上制作適當?shù)慕饘匐姌O，經(jīng)封閉、標注定后即可使用。 利用材料吸附水分子后導電性提高的特點，在絕緣基底上先制作 電極，然后在其上將有吸濕特性的其他材料制成敏感薄膜，同樣可實現(xiàn)一只性能不錯的濕度接近開關傳感器。常見敏感膜材料有氯化鋰及一些高分子膜。 氯化鋰濕敏電阻的結構圖。它是在聚碳酸酯基片上制成一對梳狀鑫電極，然后浸涂溶于聚乙烯醇的氯化鋰膠狀溶液，其表面再涂上一層多孔性保護膜而成。氯化鋰是潮解性鹽，這種電解質溶液形成的薄膜能隨著空氣中水蒸氣的變化而吸濕或脫濕。當空氣中濕度增加時，感濕膜中鹽的濃度降低，導致元件電阻隨空氣相對濕度變化而變化。 有機高分子膜濕敏電阻是在氧化鋁等陶瓷基板和設置梳形電極，然后在其表面涂以具有感濕性能又有導電性能的高分子材料的薄膜，再涂覆一層多孔質的高分子膜保護層。這種濕敏元件是利用水蒸氣附著于感濕薄膜上，電阻值與相對溫度相對應這一性質。由于使用了高分子材料，所以適用于高溫氣體中濕度的測量。 |
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